单价超10亿元英特尔TSMC三星每年需要多少EUV光刻机?

骆茗若
导读 光刻机作为半导体行业最重要的生产设备,其重要性不言而喻,整个芯片生产的1 3时间和成本都花在光刻上。EUV光刻机只有荷兰ASML能生产,单台

光刻机作为半导体行业最重要的生产设备,其重要性不言而喻,整个芯片生产的1/3时间和成本都花在光刻上。EUV光刻机只有荷兰ASML能生产,单台价格超过10亿美元,普通人望尘莫及。 半导体工艺在7nm及以上的时候,可以不用EUV光刻机制造,但是成本有点高。目前对EUV光刻机有需求的厂商只有三家:——英特尔、TSMC和三星,其中后两家的EUV工艺已经量产,英特尔的EUV光刻机要到2021年才使用7nm工艺。 这三家公司对EUV光刻机的需求有多大?根据ASML提供的计算方法,每月45,000个晶片和一层EUV光刻将需要掩模对准器。 根据英特尔、三星和TSMC的潜在产能需求,他们需要大约300到600台EUV光刻机。根据六年折旧期,年需求量在50到100台EUV光刻机之间。 世界上最先进的技术只有50-100个光刻机才能做到?听起来有点小,但确实如此。EUV光刻机非常重要,但市场并不大。ASML的主要收入仍然是非EUV光刻机。 根据他们今年的数据,2019年发运了26台EUV光刻机,预计2020年前将发运35台。现在,由于经济放缓,35 EUV光刻机单位很难得到保证。 即使在2021年全球EUV产能爆炸时,他们的EUV光刻机交付量也是45-50台,远低于预计数据。 ASML EUV在光刻机上的价格大概是1.2亿欧元,差不多10亿人民币,但是全球EUV光刻机市场每年大概500亿人民币,市场并不大。 然而,从技术上讲,EUV光刻机的研发成本远远超过500亿元。从原型到现在快20年了。直到现在,EUV光刻机还没有达到完整的体系,产能也没有达到传统DUV光刻机的水平。 数据源

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